Последние слова оказались золотыми. Я просто соединил разъем ICSP на ардуине с таким же на плате SEM0007M-8535-16. И ничего не загружалось, поскольку RESET на разъеме ICSP ардуино - общий сброс, а нужен сброс с 10 пина. Переключил и все заработало. Большое спасибо за помощь!